檢測(cè)原理：日本SMC數(shù)字式流量開關(guān)

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描述 PFM7 系列 2色顯示式 數(shù)字式流量開關(guān) 顯示一體型

●空氣、 N2、Ar、CO2

●無(wú)潤(rùn)滑脂

●與流量調(diào)節(jié)閥一體化

●小型、輕量、節(jié)省空間

字段描述 字段取值 取值描述

額定流量范圍(流量范圍) 50 1～50(25)L/min

流量調(diào)節(jié)閥 S 有

接管口徑 01 Rc1/8

配管引出方向 - 直通

輸出規(guī)格 A NPN2輸出

單位規(guī)格 M SI單位固定

使用說(shuō)明書 - 附使用說(shuō)明書(日英雙語(yǔ))

校正證明書 - 無(wú)校正證明書

可選項(xiàng)1 - 帶插頭的導(dǎo)線(2m)

可選項(xiàng)2 S 托架(附流量調(diào)節(jié)閥用)

訂制規(guī)格 X731 對(duì)應(yīng)氬(Ar)、二氧化碳(CO2)混合氣體

檢測(cè)原理

該MEMS傳感器芯片由上游溫度測(cè)量傳感器（Ru）和下游溫度測(cè)量傳感器（Rd）組成，它們從安裝在膜上的鉑薄膜涂層加熱器（Rh）的對(duì)稱放置，以及環(huán)境溫度傳感器（ Ra）用于測(cè)量氣體溫度。 原理如右圖所示。 （a）當(dāng)氣體是靜止的時(shí)，以Rh為的加熱氣體的溫度分布是均勻的，并且Ru和Rd具有相同的電阻。 （b）當(dāng)氣體從左側(cè)流動(dòng)時(shí)，它擾亂了加熱氣體的溫度分布的平衡，并且Rd的電阻變得大于Ru的電阻。 Ru和Rd之間的電阻差異與流速成正比，因此電阻的測(cè)量和分析可以顯示氣體的流動(dòng)方向和速度。 Ra用于補(bǔ)償氣體和/或環(huán)境溫度。

檢測(cè)原理：日本SMC數(shù)字式流量開關(guān)